光刻
年产300吨KrF/ArF
光刻
胶产业化项目
审批公示
01-10
中标105.09万元 华北电力大学微立体
光刻
精密加工系统
中标公示
12-27
预算130万元 中国科学院大学集成电路学院件采购计算
光刻
与版图优化软件
软件招标
12-27
预算240万 东华大学
光刻
机采购项目(第二次)
货物招标
11-03
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