第一条 本审批原则适用于《建设项目环境影响评价分类管理 名录（2021 年版）》中电子器件制造 397 中的集成电路制造建设项 目环境影响评价文件的审批。
第二条 项目应符合生态环境保护相关法律法规、法定规划以 及相关产业结构调整、重点污染物总量控制等政策要求。
第三条 项目选址应符合生态环境分区管控要求，不得位于法律 法规明令禁止建设的区域，应避开生态保护红线。鼓励新建、扩建项 目选址布设在依法合规设立的产业园区内，符合园区规划及规划环境 影响评价要求。
第四条 强化节水措施，鼓励再生水使用，减少新鲜水消耗， 鼓励清洗水回用，提高水的回用率和重复利用率。
第五条 鼓励采用转轮浓缩吸附燃烧装置处理硅片有机洗、光 刻、湿法去胶等工序产生的有机废气；应采用喷淋吸收等有效措施 处理衬底清洗、湿法刻蚀、湿法去胶、含氰电镀等工序产生的氯化 氢、氟化物、氮氧化物、硫酸雾、磷酸雾、氰化氢等酸性废气以及 衬底清洗、显影等工序产生的氨、胺类化合物等碱性废气；化学气 相沉积、干法刻蚀、扩散、离子注入、热氧化、干法去胶等工序产 生的氟化物、氯气、氯化氢、硅烷、磷化氢等特种废气，以及焊接工序产生的铅及其化合物等涉重金属焊接烟尘应配置收集系统和净 化处理装置，应采用干式吸附等有效措施处理离子注入工序产生的 含砷废气。重点关注氮氧化物、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氯气、 挥发性有机物、氰化物、氨等特征污染物的达标排放情况。 项目排放的废气污染物应符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297）要求；项目工艺过程产生的氨以及污水处理站产生的氨、硫 化氢等恶臭污染物排放应符合《恶臭污染物排放标准》（GB 14554） 要求；涉及使用 VOCs 物料的，厂区内挥发性有机物无组织排放控制 应符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822）要求； 锅炉烟气应符合《锅炉大气污染物排放标准》（GB 13271）要求。 有地方污染物排放标准的，废气排放还应符合地方标准要求。
第六条 按照清污分流、雨污分流、分类收集、分质处理的原 则，设立完善的废水分类收集、处理、回用系统，提高水循环利用 率，减少废水外排量。生产废水优先回用。含氟废水、含氨废水、 有机废水、酸碱废水、含重金属废水、含砷废水等应设立完善的废 水收集、处理、回用系统。鼓励含重金属废水采用化学沉淀法预处 理，砷化镓芯片制造产生的含砷废水采用过滤+化学沉淀法预处理； 含氟废水采用化学沉淀法预处理，含氨废水采用吹脱法或厌氧氨氧 化法预处理。根据生产工艺及废水排放种类，重点关注氟化物、总 氮、总砷、总磷、重金属等特征因子的达标排放情况。
项目排放的废水污染物应符合《电子工业水污染物排放标准》 （GB 39731）要求。有地方污染物排放标准的，废水排放还应符合 地方标准要求。
第七条 按照减量化、资源化、无害化的原则，妥善处理处置固 体废物。危险废物应委托有相应危废处置资质的单位进行处置。重点 关注危险废物种类识别是否遗漏。鼓励通过综合利用的方式实现固体 废物减量化，鼓励废硫酸阶梯使用。危险废物和一般工业固体废物贮 存应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597）、《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 18599）等相关要求。
第八条 优化高噪声区域及设备如大宗气站、动力站房、冷却 塔、风机、空压机、锅炉等厂区平面布置，优先选择低噪声设备和 工艺，采取减振、隔声、消声等措施有效控制噪声污染，加强厂区 内固定设备、运输工具、货物装卸等噪声源管理，同时避免突发噪 声扰民。厂界噪声应满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348）要求。位于噪声敏感建筑物集中区域的改建、扩建项目，应 强化噪声污染防治措施，进一步降低噪声影响。
第九条 严格防控项目环境风险，建立完善的环境风险防控体 系，提升环境风险防控能力，确保环境风险防范和应急措施合理、 有效。针对项目可能产生的突发环境事件应制定有效的风险防范和 应急措施，提出运行期突发环境事件应急预案编制要求。化学品库、 化学品供应间等化学品存储区应设置事故废水收集或应急储存设 施，以及采取其他防液体流散措施。应计算氯气、砷化氢、磷化氢 等有毒有害气体的泄漏影响范围并提出环境风险防范和应急措施。
第十条 土壤及地下水污染防治应坚持源头控制、分区防控、 跟踪监测和应急响应的防控原则。项目应对涉及有毒有害物质的生 产、使用、贮存、运输、回收、处置、排放的装置、设备设施及场所，提出防腐蚀、防渗漏、防流失、防扬散等土壤和地下水污染防 治具体措施，并根据环境保护目标的敏感程度、项目平面布局、水 文地质条件等采取分区防渗措施，提出有效的土壤、地下水监控和 应急方案，避免污染土壤和地下水。对于可能受影响的地下水环境 敏感目标，应提出保护措施；涉及饮用水功能的，强化地下水环境 保护措施，确保饮用水安全。涉及土壤污染重点监管单位的新建、 改建、扩建项目，需提出土壤污染隐患排查、土壤和地下水自行监 测相关要求。
第十一条 改建、扩建项目应全面梳理现有工程存在的环保问 题或减排潜力，提出有效整改或改进措施。
第十二条 明确项目实施后的环境管理要求和环境监测计划。 根据自行监测技术指南和排污许可证申请与核发技术规范要求，制定废水、废气污染物排放及厂界噪声监测计划并开展监测，监测位 置应符合技术规范要求。排放全氟辛酸及其盐类和相关化合物（PFOA 类）等新污染物的土壤污染重点监管单位，还应依法依规制定周边 环境监测计划。电子工业污水集中处理设施运营企业应按照《电子 工业水污染物排放标准》（GB 39731）开展废水综合毒性监测。
第十三条 项目污染防治设施建设依照《中华人民共和国安全 生产法》有关规定接受监督。
第十四条 环境影响评价文件编制应规范，基础资料数据应符 合实际情况，内容完整、准确。环境影响评价结论应明确、合理， 符合建设项目环境影响报告表编制技术指南要求，需要开展专项评 价的还应符合相关环境影响评价技术导则要求。