近日，合肥欣奕华智能机器有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）开发的首台硅基OLED蒸镀机成功导入台州观宇科技有限公司（以下简称“观宇科技”）量产线并完成全彩点亮。
据介绍，蒸镀机是OLED显示器件制备环节的核心设备，蒸镀机把有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上，是推动相关技术实现产业化的最关键因素，也是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素。
合肥欣奕华通过借鉴OLED蒸镀机研发设计经验，依托OLED蒸镀机蒸发源设计和对位技术的二次创新，攻克了硅基OLED蒸镀机膜厚均一性、稳定性和微米级高精密定位技术难题。同时，对于某些特殊蒸镀材料，通过蒸镀趋势模拟，开发特定的蒸发源并制定蒸镀工艺实现其长期稳定蒸镀。
目前，合肥欣奕华已形成了完善的蒸镀机相关技术研发体系，在蒸发源、真空腔体、高精密对位、封装、工艺控制等方面相关技术水平已达到国际先进。此外，合肥欣奕华研发的OLED蒸镀机已实现多台销售业绩。
据悉，合肥欣奕华于2013年7月由北京欣奕华科技有限公司投建，主营业务包括泛半导体产业工业机器人、智慧工厂解决方案，以及高端制造装备，先后开发出高世代玻璃基板洁净搬运机器人、高世代TFT基板线路断路/短路缺陷检测设备、OLED蒸镀机、大尺寸MiniLED巨量转移设备等高端装备。其中，大尺寸MiniLED背光量产用的巨量转移设备已于今年导入客户量产。
