恒坤股份：自主研发的KrF、ArF光刻胶已通过大厂验证并产业化目前该类光刻胶国产化率不到2%

2024-06-18来源：厦门市集成电路行业协会编辑部

厦门市集成电路行业协会官微消息，厦门恒坤股份是国内主要芯片企业的材料供应商，占据12英寸晶圆制程用国产光刻胶主要市场份额，有效填补该领域的多项国内空白。据了解，厦门恒坤已建成海沧总部研发中心和三个生产基地，在12英寸晶圆制造前道制程应用上，自产光刻胶累计出货突破20000加仑，前驱体累计出货300吨，填补先进技术节点多项国内空白，有效解决了集成电路产业链“卡脖子”问题。据悉，厦门恒坤自主研发的KrF、ArF光刻胶已通过大厂验证并实现产业化，截至目前该类光刻胶国产化率不到2%。此外，厦门恒坤几十款光刻材料产品已批量供货给国内多家芯片制造龙头企业，并可就近配套省内的集成电路企业，助推福建省集成电路产业升级。

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