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分子泵产品种类(按轴承特性区分)

2024-01-151图
按照轴承特性来看,分子泵可分为油润滑、脂润滑、磁悬浮三类。其中,1)油 润滑轴承分子泵:结构简单、散热良好,但只能竖直安装,不能获得完全洁净的真空, 主要应用于光学镀膜、装饰镀膜、科学研究。2)脂润滑轴承分子泵:可实现多角度 安装,主要应用于真空炉、加速器等,但缺点是不能获得完全洁净的真空。与之相比, 3)磁悬浮轴承分子泵:采用非接触式磁悬浮轴承,不但可以实现多角度安装,同时能获 得完全清洁无油的真空,具有转速高、寿命长等特点,是分子泵未来发展的趋势。
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