分子泵产品种类（按转子结构区分）

按照转子结构来看，分子泵产品可分为牵引式、涡轮式、复合式。早期的分子泵 基本均为牵引式分子泵，由于体积大、抽速小、间隙小，应用时限制较多，未能广泛 普及。为满足日益增长的需求，涡轮分子泵和复合式分子泵被推广普及。其中，复合 式分子泵为涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体，具有较大 的抽速和较高的压缩比，主要应用于半导体、光学、电子、航空航天等领域。