（1）项目名称：东电光电半导体设备（昆山）有限公司新建运营检测中心项目；
（2）项目地点：昆山经济技术开发区东光路8号企业现有厂区内；
（3）项目所属行业：M7320工程和技术研究和试验发展；
（4）项目内容：东电光电半导体设备（昆山）有限公司拟投资1000*万元，于现有厂区内新建1栋检测厂房，建设4条晶圆蚀刻检测线，合计新增检测规模为10种机型的晶圆工艺检测、晶圆片检测能力5000片/年。项目分两期建设，一期：2条检测线、6种机型工艺检测，晶圆片检测能力3000片/年；二期：2条检测线、4种机型工艺检测，晶圆片检测能力2000片/年。
东电光电半导体设备（昆山）有限公司新建运营检测中心项目
2024-08-21
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