江西兆驰半导体有限公司取得一种抛光液冷却结晶装置专利

专利摘要：本实用新型提供一种抛光液冷却结晶装置，包括槽体及冷却机构，槽体的底部连接冷却机构，并与冷却机构围合形成结晶腔槽体的两端分别设置进液口及出液口，进液口及所述出液口均连通结晶腔，出液口设置滤芯，冷却机构朝向槽体的一面连接挡板组，挡板组包括若干个挡板，槽体的内侧壁上连接隔离板组，隔离板组包括若干个隔离板，相邻的挡板之间设置一隔离板。通过设置冷却机构，利用温度对溶解度的影响，对抛光液进行均匀且充分的冷却，使抛光液结晶在所述抛光液冷却结晶装置中析出，并使结晶与抛光液分离，可有效防止抛光液在液桶和抛光机台管道中析出结晶，有效减少划痕对蓝宝石衬底的负面影响。

该专利授权公告号 CN 222405149 U，申请日期为 2024 年 1 月。