芯上微装首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收_快讯

91金属网讯，近日据上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）消息，该公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场，标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。

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TAG：光刻机芯上微装 AST6200

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