91金属网讯,近日据上海芯上微装科技股份有限公司(AMIES)消息,该公司自主研发的首台350nm步进光刻机(AST6200)正式完成出厂调试与验收,启程发往客户现场,标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。
ASML业绩“暴雷”
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佳能光刻机突破2nm制程?
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